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一种基于FPGA的光学膜厚监测系统技术方案
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下载一种基于FPGA的光学膜厚监测系统的技术资料
文档序号:44670512
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本申请公开了一种基于FPGA的光学膜厚监测系统,属于光学镀膜领域,包括光路和电路;光路包括光源、斩光器、分束镜、监控片及单色仪,电路包括光电转换板及FPGA开发板,光路部分负责产生和调制光信号,电路部分则负责信号的转换、放大、解调、滤噪和极...
该专利属于山东省宝丰镀膜有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东省宝丰镀膜有限公司授权不得商用。
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