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本发明提出一种基于声发射具备自动排气功能的无油无水真空泵装置，属于真空泵技术领域。为解决现有无油无水真空泵易发生过压缩现象，引发压缩功耗增加、气体温度升高、螺杆转子剐蹭及表面涂层脱落等问题，在进气口、排气口和真空泵泵体出磁吸声学传感器并增设...
该专利属于奥铼斯（河南）智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥铼斯（河南）智能科技有限公司授权不得商用。

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