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公开了一种用于支撑被支撑元件的支撑单元，所述支撑单元包括：(a)球形接头；(b)压力施加单元，所述压力施加单元被配置为维持球形外表面与基部之间的接触；(c)位置控制单元，所述位置控制单元被配置为在多个接触点处接触球形接头定位元件，以及设置球...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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