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本申请涉及一种便携式标准气体供给装置及方法，包括：气源、减压阀、高压截止阀、稳压室、微调阀、配气室、绝压传感器、第一电容薄膜规、第二电容薄膜规、皮拉尼真空规、第一高真空角阀、第二高真空角阀、抽真空系统。本申请所述的一种便携式标准气体供给装置...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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