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本发明提供了基于深度学习的半导体晶圆缺陷自动检测方法，涉及半导体检测技术领域，通过交互目标晶圆产线的质量监测单元，提取多个晶圆缺陷检测数据，对多个晶圆缺陷检测数据进行缺陷特征识别，获得K个缺陷特征簇，将K个缺陷特征边缘区间与目标晶圆质量特征...
该专利属于江苏盟星智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏盟星智能科技有限公司授权不得商用。

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