下载HJT电池光电转换效率的优化方法及系统的技术资料

文档序号:44594823

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本申请提出了一种HJT电池光电转换效率的优化方法及系统,该方法包括:根据对HJT电池的性能需求,通过磷扩散热处理技术对单晶硅片进行扩散吸杂;通过优化后的PECVD技术,对扩散吸杂处理后的硅片进行硅基薄膜钝化处理,其中,优化后的PECVD技术...
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