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本发明公开了用于激光直写的双向、双焦点刻写焦面定焦方法及装置，属于光学精密检测领域，包括：沿激光直写扫描路径方向，于刻写聚焦激光束前后对称位置处分别布置第一辅助定焦激光束和第二辅助定焦激光束；通过两个探测模块分别探测两个辅助定焦激光束的反射...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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