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本发明提供基于联邦学习的芯片制造过程参数优化方法及系统，涉及芯片技术领域，包括通过采集多工厂工艺参数和良率数据，利用小波变换和双重评价筛选关键参数，构建深度Q网络模型；基于工艺轨迹相似度进行族群划分，采用差分隐私和同态加密保护数据安全，通过...
该专利属于北京珂阳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京珂阳科技有限公司授权不得商用。

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