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本技术涉及一种用于退火腔室电池片的局部加热装置，属于原子层沉积设备的技术领域。它包括定位传送组件，在定位传送组件上方设置有电池片载板组件，位于电池片载板组件上方设置加热灯管，所述加热灯管和电池片载板组件之间增设隔热升降组件，电池片载板组件通...
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