温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术属于硅片烘干技术领域，具体涉及一种烘干槽槽体，本装置包括：中空的槽本体，所述槽本体设置有总入口和总出口；若干烘干组件，所述烘干组件上设置有烘干入口和若干朝向一致的烘干出口，所述烘干入口与所述总入口连通，所述烘干出口均布的所述烘干组件上...
该专利属于常州捷佳创精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州捷佳创精密机械有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。