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本发明涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种实时自动对焦系统和由其构成的检测系统，实时自动对焦系统包括包括第一照明子系统、第二照明子系统、合束元件、第一掩模版、第二掩模版、准直镜组、物镜、第一分束镜、第二分束镜、移动机构、第一探测子系统和第二...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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