下载过滤机构及硅粉过滤器的技术资料

文档序号:44551382

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本技术提供了一种过滤机构及硅粉过滤器,涉及多晶硅技术领域。过滤机构包括:花盘,设置在罐体的内侧上部,花盘将罐体的内部从上至下分隔为排气室和过滤室;中心筒,设置在过滤室内,中心筒的下端与尾气进口连接、上端靠近花盘的底部中央;滤管,设置在过滤室...
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