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本发明公开了一种MEMS加速度计及其应用,该MEMS加速度计包括:基板;设置在基板上的若干单元;单元包括:质量块,质量块间隔于基板所在平面,且被配置为在第一加速度作用下可沿平行于基板的第一方向位移;杠杆结构,杠杆结构连接至基板,且在平行于基...该专利属于先导原创(上海)新技术研究有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导原创(上海)新技术研究有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种MEMS加速度计及其应用,该MEMS加速度计包括:基板;设置在基板上的若干单元;单元包括:质量块,质量块间隔于基板所在平面,且被配置为在第一加速度作用下可沿平行于基板的第一方向位移;杠杆结构,杠杆结构连接至基板,且在平行于基...