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本申请公开一种四倍光程干涉仪，干涉仪中的第一单面全反射镜和第二单面全反射镜分别倾斜设置在线性位移平台上且相互垂直；分束器和第一目标反射镜位于双面全反射镜两侧，第一目标反射镜垂直于线性位移平台的移动方向；第一单面全反射镜和探测器位于分束器两侧...
该专利属于北京光函数科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京光函数科技有限公司授权不得商用。

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