下载一种利用晶硅切片硅泥生产高纯α相氮化硅的方法的技术资料

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本发明提供了一种利用晶硅切片硅泥生产高纯α相氮化硅的方法,以晶硅切片硅泥为原料,先通过酸洗清洗干净硅泥表面杂质,保证原料的纯度,再依次进行制粒、干燥、氮化反应、破碎,得到高纯α相氮化硅,控制制粒得到的颗粒状硅泥的颗粒直径D50为5‑12mm...
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