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本技术提供一种四氟化硅气体浓缩吸收的工艺装置，包括：吸收箱；吸收腔开设于吸收箱的内部，吸收箱的内部固定安装有进气管，进气管顶部的中间开设有连通孔，进气管外表面的顶部设置有外接管；清理装置固定安装于外接管的内部，清理装置包括安装板、伺服电机、...
该专利属于齐磷科技（开阳）有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过齐磷科技（开阳）有限责任公司授权不得商用。

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