下载吸引装置以及控制方法的技术资料

文档序号:44460688

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在吸引装置中,适当地进行与能够收容棒型基材的收容部的附着物相关的判断。吸引装置具备:收容部,能够将棒型基材收容于内部空间;第一检测部,向所述内部空间放射光,检测接收到的反射光;以及控制部,基于与由所述第一检测部检测到的反射光的受光量对应的第...
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