下载一种倒金字塔结构塔基的单晶硅碱抛光添加剂及其应用的技术资料

文档序号:44414882

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本发明公开了一种倒金字塔结构塔基的单晶硅碱抛光添加剂及其应用,其各组分含量为:1‑2质量份胶类、0.5‑2质量份木质素磺酸钠、1‑3质量份季铵盐、0.1‑0.3质量份苯甲酸钠、2‑3质量份DL‑脯氨酸、2‑5质量份其它助剂、余量为去离子水;...
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