下载一种太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置的技术资料

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本实用新型涉及用于金属薄板带在真空条件下表面物理气相沉积的领域。一种太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置,包括开卷机组(10),其主要特点设置的真空镀膜室包括有A低真空室(20a、20b),离子处理室(30),B低真空室(40),高真空室(...
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