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本发明提供一种Test Key测试结构，结构包括：有源区、接触孔及栅极结构，有源区包括多个在第一方向延伸且间隔排列的第一区域及多个在第二方向延伸的第二区域，第一区域与第二区域连接以使得有源区呈S型分布；多个间隔排列的栅极结构，栅极结构包括第...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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