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本申请实施例提出一种冷阱内流道预冷装置，包括干燥设备、冷阱以及真空泵；冷阱的上方入口和上方出口均连通安装有一条管路，安装至冷阱上方入口处的管路一端与干燥设备连接，冷阱的入口处还连接有位于冷阱内部的螺旋式预冷结构；螺旋式预冷结构为竖向螺旋型的...
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