下载基于深度强化学习的半导体制造Q-time控制方法的技术资料

文档序号:44319905

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供基于深度强化学习的半导体制造Q‑time控制方法,涉及半导体技术领域,包括获取工艺参数、设备状态、工序间等待时间和批次信息,输入到基于双重深度神经网络的深度强化学习模型中,计算Q‑time违规风险度,并选择调度动作;该模型采用包含...
该专利属于北京珂阳科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京珂阳科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。