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发明涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆外观缺陷的检测及分类方法、系统及计算机存储介质，该检测及分类方法包括以下步骤，通过伺服轴步进电机移动图像采集元器件扫描遍历这个晶圆区域的rgb彩色图像，在图像采集元器件扫描遍历晶圆的同时，将获取的晶...
该专利属于常州工业职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过常州工业职业技术学院授权不得商用。

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