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本发明公开了一种制备氧化镓外延薄膜的雾化学气相沉积系统及方法，该系统包括载气储罐、氧气储罐、混合气体储罐、五通道气体流量控制器、液体推进装置、重量传感器、雾化罐、喷气装置、单温区管式炉；单温区管式炉的粗石英管进料端连接细石英管。利用五通道气...
该专利属于江苏师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏师范大学授权不得商用。

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