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本技术公开一种补片机构，包括：上料装置，用于供给载片篮，载片篮装载有硅片；识别装置，用于对载片篮内的硅片进行识别检测；补片装置，包括补片篮和补片台，补片台用于承载补片篮以及存在缺陷的载片篮，补片篮内的硅片用于对存在缺陷的载片篮进行补片，补片...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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