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本技术公开了一种可过滤杂质的化学中间体的输送装置，属于物料输送技术领域，包括支架，所述支架上安装有进料装置、驱动装置、除杂装置和储料装置，进料装置与驱动装置和除杂装置连接，驱动装置与除杂装置和储料装置连接；所述除杂装置包括活塞组件和试剂组件...
该专利属于昆山欣谷微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山欣谷微电子材料有限公司授权不得商用。

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