下载一种半导体元件加工用输送装置的技术资料

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本技术涉及输送装置技术领域,且公开了一种半导体元件加工用输送装置,包括防护框,所述防护框的内部设置有分散机构,所述防护框的内部设置有输送机构,所述分散机构包括拨散组件与活动组件,所述拨散组件设置在防护框的正面,所述活动组件设置在防护框的内部...
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