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本发明的实施例大致是关于太阳能电池及其形成方法和设备。更明确地，本发明实施例是关于薄膜多接面太阳能电池及其形成方法和设备。本发明实施例还包括改良的薄膜硅太阳能电池及其形成方法和设备，其中太阳能电池中一或更多层包括至少一非晶硅层，其具有改良的...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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