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本发明一般涉及到划分定位在自动化太阳能器件制造系统内的划分模块。该太阳能电池器件制造系统适合于接收单个大基板和由该单个大基板形成多个硅薄膜太阳能电池器件。...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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