温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种用于砷烷混合气的配气装置，包括柜体、固定机构、通风机构和配气机构，所述固定机构和通风机构均设置于柜体的内部，所述固定机构包括推杆，所述推杆分别对称设置于柜体的两侧内壁上，且上下设置有两组，本技术通过在柜体的内部设置有可根据气...
该专利属于合肥正帆电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥正帆电子材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。