下载一种用于SF6废气放电降解装置及方法的技术资料

文档序号:44041200

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本发明公开了一种用于SF<subgt;6</subgt;废气放电降解装置及方法,包括气泵,可手动调控各气路中气体流速;混气机构,其设于所述气泵的一端,用于将机构中的背景气体与SF<subgt;6</subgt;混合在...
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