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本申请提供了一种研磨装置以及研磨方法，属于器件研磨技术领域。该装置包括：支架；驱动模块，安装于支架上；磨具，与驱动模块连接，驱动模块用于驱动磨具对待研磨件的待研磨面进行研磨；承载件，用于放置待研磨件；以及液体容器，设置于支架内，承载件设置于...
该专利属于中广核核电运营有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中广核核电运营有限公司授权不得商用。

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