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一种实现低频高速的寄生惯性型压电驱动器制造技术
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文档序号:43979356
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本发明涉及一种实现低频高速的寄生惯性型压电驱动器,解决了寄生惯性型压电驱动器无法在低频信号驱动时实现高速运动的技术问题。该驱动器主要包括压电叠堆、二级杠杆柔性铰链机构、移动导轨。两个压电叠堆被同时通电驱动,位移通过二级杠杆柔性铰链机构中的二...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。
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