下载基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统的技术资料

文档序号:43978566

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本发明为一种基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统,包括光路系统及位移台驱动系统,所述的位移台驱动系统包括四轴位移台,所述的四轴位移台的安装台面上设有用于安装纳米光栅的纳米光栅支架和激光干涉仪,所述的纳米光栅通过四轴位移台依次对纳米光栅三轴方...
该专利属于上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心)所有,仅供学习研究参考,未经过上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心)授权不得商用。

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