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本申请公开了硅片吸杂前表面处理工艺，包括如下步骤：步骤一：将硅片浸泡在SC清洗液中去除有机物，取出后使用去离子水冲洗干净；步骤二：将硅片置于兆声波清洗槽中，使用兆声波清洗设备在去离子水中清洗硅片，取出后使用去离子水冲洗干净；步骤四：将硅片浸...
该专利属于鸿晖新能源（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鸿晖新能源（安徽）有限公司授权不得商用。

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