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本技术公开一种晶圆进给料输送系统，涉及常压化学沉积技术领域，包括设备本体，设备本体内设置有晶圆搭载平台、机器人、晶圆冷却旋转平台、晶圆提升系统、主支撑板、第一直线导轨、第一驱动电机、晶圆加热组件、晶圆加热组件支撑和真空发生系统。本技术中的系...
该专利属于宁波恒普技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波恒普技术股份有限公司授权不得商用。

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