下载一种运动平台及钙钛矿涂布装置的技术资料

文档序号:43967029

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本技术涉及一种运动平台及钙钛矿涂布装置。该运动平台包括:平台基座和运动架;第一导向机构,包括第一轨道及第一气浮轴承,第一轨道设置在平台基座上,第一气浮轴承安装在运动架上,且位于第一轨道与运动架之间,第一气浮轴承用于在与第一轨道之间形成气膜,...
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