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本发明公开了一种用于氮化铝静电卡盘的填孔浆料及其制备方法，属于静电卡盘技术领域，填孔浆料包括粉体和有机相，所述粉体包括碳化物和无机物，所述碳化物为WC或Mo2C或者两者的混合物，所述碳化物包括不同粒径范围内的粉体按如下质量配比：质量占比为1...
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