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本发明公开了一种晶圆键合设备和方法，该设备包括用于压合晶圆的气囊装置；气囊装置包括依次上下设置的安装架、浮动机构、固定架和气囊；气囊安装于固定架下方，固定架与安装架通过浮动机构转动连接；浮动机构包括球轴承和若干支杆，球轴承两端分别连接于固定...
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