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本技术涉及半导体加工技术领域，且公开了一种烘烤设备，包括安装台，烘烤箱正面铰接有箱门，转盘内部设置有翻料结构，翻料结构包括：转杆、烘烤筒、固定板、转动杆、蜗杆、蜗轮、隔板、往复丝杆、套筒、固定杆、翻涌板，然后使用者再将箱门进行关闭，然后使用...
该专利属于扬州国润半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州国润半导体科技有限公司授权不得商用。

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