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样本测定装置以及样本测定方法制造方法及图纸
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文档序号:43924650
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本发明的目的在于提供能够可靠地保证样本的对位精度的样本测定装置以及样本测定方法。样本测定装置具备:测定器,测定样本;输送装置,沿着输送路径将样本输送到上述测定器的测定部;以及位置保证部,通过上述输送装置的驱动供上述输送装置所保持的位置保证用...
该专利属于柯尼卡美能达株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过柯尼卡美能达株式会社授权不得商用。
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