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一种矩形口径曲面面形误差补偿方法及系统技术方案
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文档序号:43923163
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本申请提供了一种矩形口径曲面面形误差补偿方法及系统,属于自由曲面光学元件超精密加工领域,方法包括:基于最佳移动路径,对工件表面进行加工,采集曲面面形上各个点的坐标和实际高度值,获取加工误差;利用泽尼克多项式对加工误差曲面进行单位方形的归一化...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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