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本发明属于单晶生产技术领域,涉及一种匹配不同热场的等径功率控制方法,包括如下步骤:稳温时,控制液面温度T1维持第一时间后,炉台输入稳温补偿功率P1;记录液面温度由T1升至T2所需要的第二时间;持续观察等径后的拉速曲线,并与预设曲线进行比较;...该专利属于内蒙古中环晶体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环晶体材料有限公司授权不得商用。
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本发明属于单晶生产技术领域,涉及一种匹配不同热场的等径功率控制方法,包括如下步骤:稳温时,控制液面温度T1维持第一时间后,炉台输入稳温补偿功率P1;记录液面温度由T1升至T2所需要的第二时间;持续观察等径后的拉速曲线,并与预设曲线进行比较;...