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光学相干断层扫描设备制造技术
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文档序号:43908737
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本发明目的是提出一种用于进行光学相干断层扫描的设备,该设备能够以最简单的结构获捕捉对象或对象结构的图像,同时可靠地检测出对象或对象结构的尺寸,就此提供了一种用于进行光学相干断层扫描的设备(10),包括具有光源(1)、参考臂(4)和样本臂(5...
该专利属于海德堡工程有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过海德堡工程有限责任公司授权不得商用。
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