下载一种基于GaAs IPD工艺的超宽带电桥的技术资料

文档序号:43901577

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本发明涉及射频器件领域,具体为一种基于GaAs IPD工艺的超宽带电桥,包括GaAs衬底,GaAs衬底包括三层金属层,且金属层包括金属层M1、金属层M2以及金属层M3,金属层M1、金属层M2以及金属层M3用于形成电桥的部分结构,且金属层M1...
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