下载一种气体分布器的技术资料

文档序号:43900476

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本技术属于气体分布器技术领域,特别涉及一种气体分布器,包括壳体、进气端以及若干个出气孔,所述壳体包括顶面体以及底面体,所述顶面体为锥形体或圆弧体,所述若干个出气孔均匀分布在所述顶面体,所述出气孔内均连接导气管,所述导气管包括底部的直管以及上...
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