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一种派瑞林膜层积反应室制造技术
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下载一种派瑞林膜层积反应室的技术资料
文档序号:43897998
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本技术公开了一种派瑞林膜层积反应室,属于派瑞林膜层技术领域,该反应室包括用于反应的反应筒、设置在反应筒的下方用于支撑反应筒的安装架、纵向移动在反应筒内部用于压缩气体的压缩机构以及螺接在反应筒内部的密封底座,压缩机构包括纵向移动在反应筒内部的...
该专利属于上海芬勃纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海芬勃纳米科技有限公司授权不得商用。
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