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本发明公开了一种等离激元增强型探测器及其制作方法，等离激元增强型探测器包括：半导体基底，石墨烯层，金属颗粒阵列以及电极组；所述石墨烯层形成于所述半导体基底的表面且暴露出部分所述半导体基底；所述金属颗粒阵列形成于所述石墨烯层表面；所述电极组设...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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