下载一种栅极全环绕垂直晶体管器件的技术资料

文档序号:43878195

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本发明公开了一种栅极全环绕垂直晶体管器件,包括:半导体衬底、第一源极/漏极、沟道、第二源极/漏极和栅极;第一源极/漏极、沟道、第二源极/漏极从上到下依次堆叠在半导体衬底上表面;栅极覆盖在第一源极/漏极上表面、以及环绕在第一源极/漏极、沟道、...
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