专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
东南大学
>
一种栅极全环绕垂直晶体管器件制造技术
>技术资料下载
下载一种栅极全环绕垂直晶体管器件的技术资料
文档序号:43878195
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种栅极全环绕垂直晶体管器件,包括:半导体衬底、第一源极/漏极、沟道、第二源极/漏极和栅极;第一源极/漏极、沟道、第二源极/漏极从上到下依次堆叠在半导体衬底上表面;栅极覆盖在第一源极/漏极上表面、以及环绕在第一源极/漏极、沟道、...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。