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本申请涉及一种异常检测方法、设备、装置、计算机设备和计算机可读存储介质。方法包括：获取被测器件的异形边上第一检测点的第一位置补偿值，根据预设的检测位置值和第一位置补偿值进行补偿处理，得到第一检测点的第一检测位置值，根据预设的位置差值和第一检...
该专利属于东莞联鹏智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞联鹏智能装备有限公司授权不得商用。

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